Содержание журнала №2 за 2023 год
Информация о статье:
| DOI | 10.47188/0869-5326_2023_31_2_44 | |
| Раздел/Section | Электроосаждение металлов и сплавов | Electroplating of metals and alloys |
| Заглавие/Title | Исследование микроэмульсионного полирования алюминия в микрофлюидном химическом реакторе | Investigation of microemulsion polishing of aluminumin a microfluidic chemical reactor |
| Авторы/Authors | П.Е. Тюлягин, А.А. Стешенко, А.С. Полякова, Н.М. Мурашова | P.E. Tyulagin, A.A. Steshenko, A.S. Polyakova, N.M. Murashova |
| Страницы/Pages | 44-54 | |
| Ключевые слова Keywords | химическое полирование, средняя шероховатость, микроэмульсия, алюминий, оптическая профилометрия | chemical polishing, medium roughness, microemulsion, aluminum, optical profilometry |
| Аннотация Description | В данной работе показано, что статистическая погрешность при определении средней шероховатости поверхности алюминия в процессе его химической полировке обратной микроэмульсией на основе додецилсульфата натрия, содержащей ортофосфорную кислоту в качестве травящего агента, зависит от того, каким способом измеряется величина Ra, и от начального значения Ra для поверхности металла до полировки. В частности, для поверхностей с начальной Ra > 100 нм статистическая погрешность определения средней шероховатости поверхности составляет ±5%, что сопоставимо с величиной изменения Ra в процессе химической полировки обратными микроэмульсиями. Для повышения точности таких измерений предложен метод на основе микрофлюидного чипа, встроенного в оптическую систему микроинтерферометра МИИ-4, который позволяет проводить измерение средней шероховатости одного и того участка поверхности непосредственно в процессе полировки. Погрешность измерения Ra данным методом составляет единицы Å. Для поверхностей с начальной Ra < 100 нм статистическая погрешность определения средней шероховатости поверхности составляет менее 5 нм, благодаря чему возможно определять среднюю шероховатость поверхности как статистическим методом, так и напрямую в микрофлюидном химическом реакторе. | In this paper, it is shown that the statistical error in determining the average surface roughness of aluminum during its chemical polishing with a reverse sodium dodecylsulfate microemulsion containing orthophosphoric acid as an etching agent depends on the method by which the value of Ra is measured, and on the initial value of Ra for the metal sur face before polishing. In particular, for surfaces with an initial Ra > 100 nm, the statistical error in determining the aver age surface roughness is ±5%, which is comparable to the magnitude of the change in Ra during chemical polishing with reverse microemulsions. To improve the accuracy of such measurements, a method based on a microfluidic chip embedded in the optical system of the microinterferometer is proposed, which allows measuring the average roughness of the same surface area directly during the polishing process. The measurement error of Ra by this method is units of Å. For surfaces with an initial Ra < 100 nm, the statistical error in determining the average surface roughness is less than 5 nm, which makes it possible to determine the average surface roughness both by statistical method and directly in a microfluidic chemical reactor. |
| Ссылка на Link for citation | ||
| Текст/Text | http://elibrary.ru/item.asp?id=54520606 | |